微納工藝平臺致力于國際前沿的微納工藝、器件和系統(tǒng)先期研究，有各類工藝設備120余臺套，能夠同時兼容GaN、SiC、Si等材料體系，線寬可至納米量級，構(gòu)建了完備的跨尺度精細加工條件，是同時具備6英寸硅基和化合物芯片制造、先進電子封裝和三維異構(gòu)集成能力的綜合工藝研究平臺?？蔀閲已邪l(fā)計劃提供工藝支撐、為院內(nèi)外單位提供工藝先導服務。

微納工藝實驗室